FG5002S/5005S 型大功率发生器——利用监控、诊断和维护功能实现最高实用性
最新半导体技术和传感器,性能优异且最高实用性结合的 5000 系列发生器,通过集成模拟监控等离子腔室内的压力、电流、电压和频率,以及分析等离子体发出的光,实现了最高等级的工艺可靠性。
设备采用用户界面友好的触摸屏操控,面板设计清晰;集成了与上下游设备控制联动的通信模块。
最新半导体技术和传感器,性能优异且最高实用性结合的 5000 系列发生器,通过集成模拟监控等离子腔室内的压力、电流、电压和频率,以及分析等离子体发出的光,实现了最高等级的工艺可靠性。
设备采用用户界面友好的触摸屏操控,面板设计清晰;集成了与上下游设备控制联动的通信模块。