FG5002S/5005S型大功率发生器 – 利用监控、诊断和维护功能实现最高可用性

5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术,性能优异,十分便于使用。通过模拟监控等离子体腔室内的压力、电流、电压和频率,以及分析等离子体的发射光,获得 最高等级的工艺可靠性。 

设备采用用户界面友好的触摸屏操控,和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。

不同型号的等离子发生器具有不同的性能和功率输出级别

S系列:全面集成工艺控制功能

典型应用

  • 集成到成套生产系统中
  • 可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行
  • 需要集成工艺监控及全面系统通讯功能的工业应用
  • 支持机器人系统的集成

主要技术特点

  • 数字式高频等离子发生器,采用集成的微处理控制器进行系统和功率的控制
  • 通过触摸屏控制面板来显示状态和故障信息,并实现符合人机工程学的操作
  • 集成维护手册
  • 功率输出:2kVA (FG5002) 可驱动四把等离子喷枪或5kVA可驱动八把等离子喷枪
  • 电源电压:3x 400V
  • 工作温度范围:0-40°C
  • 电气柜的易维护设计
  • 全面的工艺监控功能,实现最高程度的工艺可靠性和可重复再现性
Loading...