고출력 FG 5002S/5005S 발전기 - 모니터링, 진단 및 서비스 기능으로 최고의 가용성 제공
최신 반도체 기술, 광범위한 센서 및 최대 사용 용이성이 결합되어 Series 5000 발전기는 우수한 성능을 제공합니다. 플라스마에 의해 방출되는 빛의 분석과 더불어 플라스마 챔버의 압력, 전류, 전압 및 주파수에 대한 통합 아날로그 모니터링 기능을 사용하여 최고 수준의 공정 신뢰성 이 구현됩니다.
발전기를 제어하기 위한 사용자 친화적인 터치 스크린 제어판은 사용자가 알기 쉽도록 명확하게 설계하였으며, 상위 및 하위 순위 제어에 대한 신호 연쇄 처리가 통합되도록 설계 되었습니다.
